1、辅助燃料应优先选用、等燃料；燃烧器应具备温度自动调节的功能，应符合《工业燃油燃气燃烧器通用技术条件》（GB/T 19839—2005）的规定。
2、优先选用低氮燃烧器。
五、工艺系统整体要求
1、固定式蓄热燃烧装置换向阀换向时间宜为60～180 s，旋转式蓄热燃烧装置气体分配器换向时间宜为30～120 s。
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半导体车间废气处理设备选择标准：
(1)半导体生产车间废气处理设备的选择是根据待消除气体的种类、浓度、流量和压力，减排设备的处理能力，综合考虑的寿命、前后与设备的关系等多种情况，挑选合适的处理方法和设备。
(2)半导体生产车间废气处理设备在混合时将会、起火或造成有害物的气体处理应该是一个独立的系统。
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